Если искрение в зоне слюды. то поробуйте её отчистить. Заменить можно куском пластика радиопрозрачным на этих частотах, например, полиэтиленом (главное-неполярный диэлектрик)
Но скорее всего дело в недогрузки печи, если поставить туда ёмкость с водой достаточного объёма, то искрение прекратиться.
Может также нарушено тоже немного диэлектрическое поркрыетие. тогда это место замазать можно клеем, являющимся полярным диэлектриком.
Это не короткое замыкание, а высоковольтный пробой из-за высокого потенциала, наводимого СВЧ излучением на изолированные токопроводящие зоны. Может быть плохо для магнетрона отражением непоглощённой энергии, что приведёт к его перегреву. ПОЭТОМУ ПЕРВАЯ МЕРА_ САМАЯ ПРОСТАЯ-НАГРУЖАЙТЕ ПЕЧЬ БОЛЬШЕ, ПОСТАВИВ ТУДА ЕМКОСТЬ С ВОДОЙ, это скорее всего поможет.
МАГНЕТРОН ОДНОЗНАЧНО в ПОРЯДКЕ, про угрозу для него написал. Поробуйте высушить кусок слюды, он может искрить из-за наличия там частицы воды, поглощающей радиоизлучение и закрыть окошко куском пластины полиэтилена