Вибрирует педаль сцепления

Немного стала вибрировать педаль сцепления. Началось после замены рабочего цилиндра. Старый потёк, купил новый поставил, прокачал. Машина Тойота камри 1987 года. Прокачивал один, тем же способом что и тормоза: пару раз качнул, упер палку в педаль, побежал стравливать воздух. Все работает. Кстати коробка новая 3 месяца назад менялась. И вот после этого началась вибрация в педали. Лёгкая еле ощутимая как бы пропорционально оборотам двигателя. Может это я просто прокачал плохо, а то я тут начитался про замену сцепления, корзины, выжимного????