помогите по интегральным микросхемам?

объясните тупому - что раньше - курица или яйцо? сейчас микросхемы проектируют в сапрах на компьютере. А как раньше в 60-х 70-х годах это делали? на кульмане? как размещали на кристалле схему ФИЗИЧЕСКИ чтобы получить прототип? откуда брали оборудование для производства микросхем с обеспечением точности изготовления????