Первые 8 губерний образованы по указу Петра I в ходе Областной реформы, 29 декабря 1708 года:
Ингерманландская (в 1710 преобразована в Санкт-Петербургскую)
Московская
Архангелогородская
Смоленская
Киевская
Казанская
Азовская
Сибирская.

В ходе реформы все уезды были отменены, губернии составлялись из городов и прилегающих к ним земель. В 1710—1713 году губернии были разделены на доли, управляемые ландратом. В 1714 году вышел указ Петра I, по которому доли становились единицей местного самоуправления, ландрат выбирался местными дворянами. Однако фактически это распоряжение выполнено не было, сенат утверждал ландратов по спискам, представленных губернаторами.
В 1713—1714 были образованы Рижская (из новоприобретённых на северо-западе земель) и Нижегородская (выделена из Казанской) губернии, а Смоленская разделена между Московской и Рижской. В 1717 году из Казанской губернии была выделена Астраханская, а Нижегородская — упразднена. Таким образом, к 1719 году Российское Царство делилось на 9 губерний.

В 1719 году Петром I была проведена реформа административного деления. Губернии были разделены на провинции, а провинции, в свою очередь — на дистрикты. Во главе провинции стоял воевода, а во главе дистрикта — земский комиссар. Согласно этой реформе высшей областной единицей Российской империи становилась провинция, а губернии выполняли роль военных округов.
7 нояб. 1775 г. было принято «Учреждение для управления губерний Всероссийской империи» . Вместо трехзвенного административного деления — губерния, провинция, уезд, стало действовать двухзвенное — губерния, уезд (в основе которого лежал принцип численности податного населения) . Из прежних 23 губерний образовано 50, в каждой из которых проживало 300—400 тыс. д. м. п.
Губернии делились на 10-12 уездов, в каждом по 20-30 тыс. д. м. п.
Генерал-губернатор (наместник) — следил за порядком в местных центрах и ему подчинялись 2-3 губернии, объединенные под его властью. Имел обширные административные, финансовые и судебные полномочия, ему подчинялись все воинские части и команды, расположенные в губерниях.
Губернатор — стоял во главе губернии. Они подчинялись непосредственно императору. Губернаторов назначал Сенат. Губернаторам был подчинен губернский прокурор. Финансами в губернии занималась Казенная палата во главе с вице-губернатором. Землеустройством занимался губернский землемер. Исполнительным органом губернатора являлось губернское правление
К 1914 году Россия делилась на 78 губерний, 21 область и 2 самостоятельных округа, в которых насчитывался 931 город, а в состав Российской империи входили Прибалтика, Малороссия, Белоруссия, часть Польши (Царство Польское) , Бессарабия, Северный Кавказ, с XIX века, кроме того, Финляндия (Великое Княжество Финляндское) , Закавказье, Казахстан, Средняя Азия и др.
Часть губерний и областей была объединена в генерал-губернаторства: Киевское, Кавказское, Сибирское, Туркестанское, Восточно-Сибирское, Приамурское, Московское. Официальными вассалами Российской империи были Бухарское и Хивинское Ханства, в 1914 под протекторат принят Урянхайский край.