субмикрон это сколько

Субмикрон это нисколько. Потому что нет такой единицы измерения.
Есть только ПРИЛАГАТЕЛЬНОЕ "субмикронный", которое носит чисто качественный характер и повествует нам о том, что размеры того, о чём речь (кстати, речь, скорее всего, о самих размерах) , - менее 1 микрона. То есть, к примеру, субмикронные элементы - это элементы чего-то там с размером менее 1 микрона. Равным образом субмиллиметровые радиоволны - это радиоволны с длиной волны менее 1 мм (терагерцовый диапазон).