каким образом можно улучшить работу форвакуумного и диффузионного насоса?

А в чем проблемы?
Большие вибрации? Нужно проверить балансировку.
Медленно откачивает? Проверить систему на герметичность; соответствие масла.
"Грязный вакуум"? Заменить масло, проверить новые элементы на выделение газов; тщательно промыть и обезжирить систему.
Диффузионный насос проверить на соответствие своим характеристикам.