Почему перестали использовать вакуумные диоды?

Потому что полупроводниковые намного компактнее, надёжнее, легче и лучше. Прямое падение на полупроводниковом диоде - доли вольта, на вакуумном - десятки вольт (в лучшем случае единицы) . А самое главное - полупроводниковые обходятся без накал, которые необходим вакуумным.
Ну и на фига, спрашивается.. .

Правду сказать, кенотроны применяются до сих пор, потому что выпрямить сотню киловольт на ОДНОМ полупроводниковом приборе пока что нельзя. Поэтому в рентгеновских установках или в установках ионной имплантации в выпрямителях до сих пор часто используются именно кентроны (т. е. вакуумные диоды).