Самый распространённый - рентгеновская трубка, где используется торсмозное излучение электронов, разогнанных до 20-30 кЭв и попадающих на такой скорости в анод. Такие трубки используются например в медицине, где точная длина волны не имеет значения.
На втором месте - аналогичная конструкция, но используется не тормозное, а характеристическое излучение атомов материала анода, чаще всего меди (Kальфа) , возбуждённых высокоэнергичными электронами. Такие трубки используются для рентгеноструктурного и рентгенофазового анализа, а также для дешёвых анализаторов рентгеноэлектронных и Оже-электронных спектров.
И для особо точных и прецизионных спектроскопических (Оже например) измерений используется синхротронное излучение - излучение разогнанных до скорости света электронов в синхротроне. Электроны в синхротроне излучают при повороте в магнитном поле :-). Такой источник используется редко, поскольку синхротрон - штука недешёвая и не маленькая, и его время - дорого :-(
Рентгеновская трубка:


Синхротрон Курчатовского института
