вопрос по схемотехнике

Для общего понятия можете заглянуть http://sbis.karelia.ru/sbis/mainfile.htm

Вот кусочек оттуда (специально мимо прямого ответа на ваш вопрос)
Общее описание методов плазменного травления

Плазменное травление может осуществляться различными методами. При использовании методов ионного травления, включающего ионно-лучевое и ионно-плазменное травление, процесс травления происходит исключительно по механизму физического распыления. Реактивные методы, включающие собственно плазменное травление, реактивное электронно-лучевое травление и реактивное ионно-плазменное травление, основаны на различной степени сочетаний химических реакций, в ходе которых образуются летучие или квазилетучие соединения, и физических взаимодействий, таких, как ионная бомбардировка.

Термин "плазменное травление" часто применяется для обозначения чисто химических реакций, в которых плазма служит исключительно источником реакционно-способных электрически нейтральных компонент, вступающих во взаимодействие с атомами поверхности твердого тела, в результате чего образуются летучие продукты реакций. Известны примеры применения плазменного травления в технологии СБИС, для которых данное определение является полностью адекватным. Однако физические эффекты, такие, как ионная бомбардировка, часто играют важную роль в плазменном травлении, также как и в реактивном ионном травлении. Поэтому следует быть осторожным при определении "механизма" конкретного процесса травления, основанного на терминологии, используемой для описания этого процесса.

Предпочтительно разделять методы сухого травления не по механизму, а по функциональным признакам, т. е. присущим им комбинациям функциональных параметров.

Схемотехника - научно-техническое направление, охватывающее проблемы проектирования и исследования схем электронных устройств радиотехники и связи, вычислительной техники, автоматики и др. областей техники. Основная задача С. — синтез (определение структуры) электронных схем, обеспечивающих выполнение определённых функций, и расчёт параметров входящих в них элементов.
И где тут схемотехника?