Сколько стоит оборудование для ионной имплантации?

Главный пункт одной моей курсовой работы является стоимость оборудования для ионной имплантации. С компаниями производителями этого оборудования связаться очень сложно, чтобы поинтересоваться в этом ключе, так как не у всех есть даже email. Мало того, надо ещё провести сравнительный анализ нескольких таких аппаратов в ценовой категории. В общем, оракул, что ты ответишь?