Если это пол по грунту, то тогда европейский вариант с простыми пояснениями. ВЫровнять грунт, при этом убедившись, что стены обмазаны гидроизоляцией, защебнить, по выровненному верху щебня уложить толстую чёрную пластиковую плёнку с заходом на стены, чтоб отсечь пары и воду снизу. После этого - пенопласт по-народному, с зазорами под будущие рёбра жёсткости. Вязка арматуры и заливка бетона. Такая плита всегда будет сухая, а пенопласт не даст греть землю, что позволяет потом экономно греть пол.. .
Если пол по плите бетонной, то всё уже пояснили выше.
Не забудьте только отгидроизолировать мокрые помещения с заходом на стены перед укладкой плитки, тем более, что любая протечка в наружные стены резко ухудшает их способность хранить тепло...