ваз 21214. Произвольно растут холостые обороты. Но не постоянно, временами. в чём может быть причина?

Смотря, какой двигатель? Инжектор или карбюратор?

Мне помогла замена датчика положения дросельной заслонки.

Возможно клапан холостого хода не закрывается до конца - или контакт плохой, или винтовая пара внутри него подъизносилась. Датчик положения дроссельной заслонки маловероятно, но тоже может быть. И последний вариант - начни именно с него, убедись в том, что ось заслонки не подклинивает, тросик привода тоже, и еще один момент - убедись, что тросик не перетянут, при отпущенной педали он должен слегка провисать, если он натянут как струна, то при прогреве он не даст заслонке закрыться до конца.