Как подготовить деревянный пол под укладку плитки?

ГВЛ.. десятка.. в два слоя.. на клей...
Если основание не "играет", можно и один слой 12.. но лучше два слоя..

Мы стелили Цсп и на нее укладывали плитку

Выбор не богатый: фанера-не тоньше 12,затем ГВЛ-тоже не тонкий. Потом плитка. Плюсы-других вариантов не существует. Минус-если фанера по какой то причине начнёт "двигаться", плитка начнёт отваливаться. Но это может произойти спустя большой срок, сколько не живут.

Необходимость укладки плитки на пол имеющий деревянное основание должна возникать в крайней ситуации. Будем исходить различия физических свойств используемых материалов.
Скажем так:
-плитка -это камень склонный к изменению объёмных характеристик (деформации) лишь при изменении температуры. При этом деформации вызванные бытовыми условиями относительно малы;
-дерево -это материал очень склонный к объёмным деформациям. И ведущим фактором вызывающим изменения объёма является влажность окружающей среды. Конструкции из дерева способны к линейным деформациям на 10-20%
В связи с чем невозможно надёжно и долговечно закрепить камень на доске.
При большой необходимости считаю возможным лишь организовать монолитную бетонную стяжку толщиной от 5 см. с хорошим армированием.
Как вариант на доски обработанные защитными составами либо олифой уложить плёнку (гидроизоляция) затем сетку Рабицу, можно с крупной ячейкой, но необходима как можно большая дуга петель для большего проникновения в тело монолитной стяжки. Поверх рабицы слой сворной кладочной сетки 50*50*5мм.
Такая плита на многие годы сдержит деформацию и частичное разрушение деревянной конструкции.