иностранный военный атташе(дипломатическое лицо с имунететом) избил человека на территории РФ, нанес тяжкие телесные

Какая разница - военный или нет. Привлечь к ответственности его, действительно, нельзя, так как у него дипломатический статус. Его могут объявить персона нон-грата и обязать покинуть Россию в течение 24 часов. К тому же, под прикрытием военных атташе, как правило, работают разведчики. Так что всегда найдется, что ему предъявить.

Иностранный военный атташе - лицо обладающее дипломатическим рангом.
В соответствии с Венской конвенцией о дипломатических сношениях 1961 г. он имеет личный иммунитет от юрисдикции государства пребывания – уголовной и гражданской. Следственные органы этого государства не должны возбуждать уголовные дела в отношении дипломатов, а его суды не могут такие дела рассматривать. Вместе с тем власти страны пребывания могут обратиться к высшим органам государства дипломата о снятии с него иммунитета от уголовной юрисдикции в случаях совершения тяжких преступлений.
Что касается его гражданской юрисдикции на территории пребывания, он пользуется иммунитетами от юрисдикции государства пребывания, за исключением трех случаев: 1) когда к нему предъявляется иск, относящийся к частному недвижимому имуществу, которым дипломат владеет как частное лицо; 2) когда к нему предъявляется иск, касающийся наследования, по которому дипломат выступает как частное лицо; 3) когда к нему предъявляется иск в отношении деятельности, которой дипломат занимается за пределами своих официальных функций.
Таким образом, атташе нанес тяжкие телесные повреждения официанту, находясь за пределами своих официальных функций (в ресторане, не думаю что там он решал вопросы касающиеся его полномочий военного атташе) , официант вправе предъявить ему иск в гражданском судопроизводстве, за причинение морального вреда (физическое и нравственное страдание) , а также, возможно, причинение вреда здоровью.

Иммунитет дает полную неприкосновенность только по административным правонарушениям, ст. 111 УК, если мне не изменяет память, к таким не относится, но судить его будут по законам его страны после объявления персноной нон-грата.