когда стали употреблять слово атеист-атеизм? я спрашиваю именно про слово

Жизнь человека постыдно у всех на глазах пресмыкалась
Здесь, на земле, удрученая бременем вероученья,
Что из владений небесных главу простирало и сверху
Взор угрожающий свой непрестанно бросало на смертных.
Первый из смертных, кто взоры поднять к нему прямо решился,
Родом из Греции был; он ему воспротивился первый.
И ни святыня бессмертных, ни молнья, ни грома раскаты
С неба его удержать не могли, но с тем большей отвагой
Силы души он своей напрягал, чтобы ранее прочих
Крепкий замок сокрушить у затворенной двери природы.
Так животворная сила рассудка стяжала победу
И далеко унеслась, из границ пламенеющих мира,
И в бесконечность вселенной проник он рассудком и духом.
Победоносно принес нам познанье тот грек о возможном
И невозможном в природе, а также о силах предельных
В каждом предмете, о целях конечных, что ставит рассудок.
Так что религии все суеверья у нас под ногами

(Лукреций «О природе вещей») .

Древнегреческий атеизм, возникший в связи с отрицанием греческих богов, культа и мистерий, не представляет собой единой традиции, даже принадлежащие к одному направлению Демокрит, Эпикур и их римский последователь Лукреций, дающие немало оснований для того, чтобы считать их атеистами, связаны между собой не столько особым пониманием богов и отрицательным отношением к религиозному культу, сколько общностью атомистических представлений о природе. В эпоху классики и эллинизма учения атеизма возникают и исчезают на фоне постепенно разрушающейся античной мифологии, соперничества религии и культуры, знакомства с иными религиями и чужеземными культами. Значительная роль в обмирщении религии и мифологии принадлежит поэзии, которая перевела античную мифологию на язык художественной литературы и театра, смешала ее с вымыслом и стала изображать жизнь богов по аналогии с жизнью людей.

Однако особенностью греческого, а затем и римского атеизма становится связь с философией; именно на этой почве «без-божие» превращается в «мировоззрение» с притязаниями на теоретическое обоснование и истину; здесь в общих чертах складывается тип философского неверия со всеми возможными подходами, точками зрения и обоснованиями, которые, несмотря на принципиальные различия между язычеством и христианством, будут характерными и для последующей истории атеизма в Европе. При этом в Греции философов, вообще отвергавших существование богов (т. е. атеистов в современном смысле этого слова) , было мало; об этом говорит «список атеистов» , составленный автором трактата «Об учениях философов» Клитомахом.

Атеизм (от греческого отвергающий богов, лишенный Божества, безбожник) , отрицание Бога, безбожие. Историческими примерами древнегреческого понимания атеизма стали: решение афинского суда, приговорившего Сократа к смертной казни за «введение других богов» , изгнание Анаксагора, обвиненного в «безбожии» , бегство из Афин Аристотеля, опасавшегося быть привлеченным к суду, и другие многочисленные случаи преследования за действительные или мнимые расхождения с узаконенным почитанием богов. Хотя невозможно утверждать, что античная философия со сложившимися в ней умозрительными способами обсуждения проблем, в том числе касающихся богов или бога, с необходимостью вела к теоретическому «атеизму» , тем не менее, очевидно, что античные философские учения, несмотря на их существенные различия -- от понимания богов как явления «космической жизни» у Демокрита, Эпикура и Лукреция до близких к монотеизму Сократа, Платона, Аристотеля, Плотина, -- скорее расшатывали традиционную религию и мифологию, чем укрепляли ее.

Однако не все античные философы выглядели в глазах современников противниками народной религии, в своем большинстве они не отвергали культ -- основу греческой и римской религии, и потому уже не считались «нечестивыми» и «атеистами» . Блаженный Августин даже утверждал, что «мудрецы их, так называемые философы, школы имели различные, а храмы чтили общие».

Древние греки ещё его употребляли.

В античное время.
Была статья такая уголовная - за атеизм. То есть это были такие скверные людишки, которые отрицали всех богов.

Судя по слову, оно греческого происхождения (а - теос - безбожник) . Можно предположить, что в античные времена.

Мыслю что в кукурузных полях ))))))))))))))))
Мы дети кукурузы ))))))))))))))))))

Самое ранние источники, котоорые мне встречались - время Вольтера.